由于當從內部負載孔繪圖時,激光光軸未達到FOUP直接射向操作員,激光繪圖傳感器更安全,涂氮墊片根據涂層厚度以一定波長吸收光線,如果傳感器使用具有單個波長的激光,光軸可能被完全吸收,導致墊片檢測錯誤,M-D21使用具有一定波長段的LED光源,可始終成功地檢測涂氮墊片,根據反射光線的數量進行的墊片檢測可能有時會由于墊片邊緣的形狀而發(fā)生錯誤,M-DW1在受光部分使用2個分隔的受光二極體,通過反射光線的位置而不是數量檢測墊片,因此,傳感器受墊片厚度或反射光線數量的影響較小,近來的趨勢顯示出玻璃墊片的快速發(fā)展,這些墊片不反射大量光線,因此它們的邊緣檢測有一定難度,M-DW1不是通過光線數量而是通過光線位置檢測墊片,因此可忽略光線數量檢測玻璃墊片,傳感器在0.5ms以內反應,符合墊片檢測的高速和高精度需要,傳感器體積為W80.6mm×H18.3mm×D50mm,僅重75g,傳感器電纜可從4個方向拉出:前.后.左.右,這使得傳感器的安裝更加方便靈活。
具體參數如下:
M-DW1:中心測量距離:45mm
檢測物體:3英寸以上半導體墊片(注1)
檢測表面:表在具有在受光方向反射光線的側邊緣(注2)
檢測角度:12.5±5°
墊片間距:在通常靈敏度下可獨立檢測3mm以上間距
適用盒:SEMI標準FOUP盒/打開盒
電源電壓:12-24V DC±10%
輸出:NPN輸出/PNP輸出,可通過輸出轉換開關選擇
NPN輸出:NPN開路集電極晶體管
PNP輸出:PNP開路集電極晶體管
輸出操作:入光時ON/遮光時ON,可用開關選擇
反應時間:50μs以下
周圍溫度:0~+50℃(注意不可結露),保存時:-10~+70℃
注:1)若是8英寸以下墊片,墊片間距定向扁平或表面情況都可能影響檢測.
2)具有尖利邊緣的上光墊片等,由于其在受光方向不能反射光線,因此
不能被檢測.